Interakce elektronů s hmotou

Interakcí dopadajících elektronů s materiálem (hmotou obecně) vznikají následující detekovatelné složky:

• sekundární elektrony (SE)
• odražené elektrony (BSE - Backscattered electrons)
• Augerovy elektrony (AE)
• rentgenové záření (RTG, X-Rays)
• katodoluminiscence
• prošlé elektrony (TE - Transmited electrons)
• absorbované elektrony (absorbovaný proud)

Tohoto jevu se využívá především k diagnostice v lékařství a defektoskopii (rentgenové záření) a v rastrovacím elektronovém mikroskopu, případně v mikrosondě, k zjištění lokálních vlastností zkoumaného materiálu. Týž jev je také příčinou vzniku rentgenového záření při interakci elektronů kosmického záření s molekulami plynů zemské atmosféry.