Trimethylsilan

Trimethylsilan
Strukturní vzorec
Strukturní vzorec
Model molekuly
Model molekuly
Obecné
Systematický názevtrimethylsilan
Sumární vzorecC3H10Si
Vzhledbezbarvý plyn[1]
Identifikace
Registrační číslo CAS993-07-7
PubChem70435
SMILESC[SiH](C)C
InChI1S/H2Si/h1H2
Vlastnosti
Molární hmotnost74,197 g/mol
Teplota tání−135,9 °C (142,2 K)
Teplota varu6,7 °C (279,8 K)
Hustota0,638 g/cm3
Bezpečnost
GHS02 – hořlavé látky
GHS02
GHS04 – plyny pod tlakem
GHS04
GHS07 – dráždivé látky
GHS07
[1]
H-větyH220 H224 H280 H315 H319 H335[1]
P-větyP210 P222 P230 P233 P240 P241 P242 P243 P261 P261+264 P265 P271 P280 P302+352 P303+361+353 P304+340 P305+351+338 P319 P321 P332+317 P337+317 P362+364 P370+378 P377 P381 P403+233 P405 P410+403 P501[1]
Není-li uvedeno jinak, jsou použity
jednotky SI a STP (25 °C, 100 kPa).
Některá data mohou pocházet z datové položky.

Trimethylsilan je organokřemičitá sloučenina se vzorcem (CH3)3SiH, patřící mezi trialkylsilany. Vazba Si–H se vyznačuje vysokou reaktivitou. Tato látka se používá jako činidlo, i když méně často než triethylsilan, který je za pokojové teploty kapalný.

Trimethylsilan se používá při výrobě polovodičů k tvorbě dielektrických a bariérových vrstev chemickou depozicí z plynné fáze obohacenou plazmatem (PE-CVD).[2]

Také slouží jako zdrojový plyn při výrobě TiSiCN povlaků a k ukládání vrstev karbidu křemíku nízkotlakou chemickou depozicí z plynné fáze (LP-CVD)za poměrně nízkých teplot pod 1000 °C. Je drahý, ale bezpečnější než silan (SiH4); vlastnosti povlaků vytvořených pomocí něj nelze nahradit jinými zdrojovými plyny obsahujícími křemík a uhlík.

Odkazy

Reference

V tomto článku byl použit překlad textu z článku Trimethylsilane na anglické Wikipedii.

  1. ↑ a b c d https://pubchem.ncbi.nlm.nih.gov/compound/70435
  2. ↑ Sheng-Wen Chen; Yu-Sheng Wang; Shao-Yu Hu; Wen-Hsi Lee; Chieh-Cheng Chi; Ying-Lang Wang. A Study of Trimethylsilane (3MS) and Tetramethylsilane (4MS) Based α-SiCN:H/α-SiCO:H Diffusion Barrier Films. Materials. 2012, s. 377–384. DOI 10.3390/ma5030377. PMID 28817052. Bibcode 2012Mate....5..377C. 

Související články

Externí odkazy

Média použitá na této stránce